Оптический абсолютный линейный датчик RESOLUTE UHV для применения в условиях сверхвысокого вакуума
Файлы для загрузки- Производство:
- Renishaw plc (Великобритания)
Энкодер RESOLUTE UHV компании Renishaw является истинно абсолютным оптическим энкодером, разработанным специально для применения в условиях сверхвысокого вакуума (до 10 -10 Торр).
Энкодер RESOLUTE UHV изготавливается из экологически чистых и безопасных для применения в условиях сверхвысокого вакуума материалов и клеёв, поэтому имеет низкий уровень газовыделения, подтверждённый исследованиями уровень остаточных газов (RGA), и высокую температуру спекания (120 °C).
Энкодер RESOLUTE UHV определяет положение сразу же после включения, без необходимости какого-либо перемещения или резервного питания. Это означает, что полный контроль осей может быть достигнут сразу же, тем самым устраняя риски неконтролируемого движения или столкновения. Это является важным преимуществом в таких областях применения, как обработка полупроводниковых пластин, где безопасное извлечение дорогостоящих изделий при внезапном отключении источника питания имеет важное значение.
Энкодеру RESOLUTE UHV характерна очень низкая ошибка подразбиения (SDE, ±40 нм), что улучшает качество обратной связи. Это в свою очередь даёт ряд преимуществ, в том числе: минимизацию скорости пульсации, снижение вибрации, повышение производительности сканирования, сокращение количества тепла, образующегося в двигателях.
Энкодер RESOLUTE UHV имеет также низкое значение джиттера (дрожания фронта сигнала, менее 10 нм), тем самым значительно улучшается стабильность позиционирования.
Энкодер RESOLUTE UHV имеет отдельный встроенный алгоритм проверки положения, а так же контроля скорости, состояния сигнала и температуры, что обеспечивает внутреннюю безопасность системы.
Энкодерная система RESOLUTE UHV предлагается с рядом разрешений - до 1 нм при максимальной скорости - вплоть до 100 м/с.
Для решений различных задач заказчика предлагаются на выбор высокоточные шкалы для линейного энкодера RESOLUTE UHV: от быстро и легко монтируемой высокоточной шкалы из нержавеющей стали - RTLA (± 5 мкм/м) до инваровой шкалы - RELA - с очень низким коэффициентом теплового расширения и сертифицированной точностью выше, чем ± 1 мкм.
В абсолютном энкодере RESOLUTE UHV используется только канал последовательной передачи данных, что обеспечивает превосходную степень помехоустойчивости. Энкодер предусматривает исполнения с поддержкой целого ряда протоколов, что позволяет легко подключать его ко многим стандартным контроллерам, приводам, устройствам цифровой индикации и платам-счётчикам (подключаемым к компьютеру). Энкодер RESOLUTE UHV с поддержкой протокола BiSS-C® совместим с системами ряда производителей. Предлагается также энкодер RESOLUTE UHV с поддержкой протокола Panasonic.
