Оптичний інкрементний лінійний енкодер TONiC UHV з масштабною стрічкою з інвара RELM
- Виробництво:
- Renishaw plc (Великобританія)
- Енкодер TONiC UHV з масштабною стрічкою з інвара RELM
Зчитуюча головка лінійного енкодера TONiC UHV може використовуватися з високоточною лінійною шкалою RELM з інвара (InvarTM) компанії Renishaw з оптичними нульовими мітками IN-TRACTM. Ця енкодерна система забезпечує виключно надійний зворотний зв´язок по положенню в умовах надвисокого вакууму. Лінійні енкодери TONiC UHV призначені для використання в напівпровідникових пристроях і науковому обладнанні, де потрібні виняткова надійність і найвищі характеристики.
Інкрементальна зчитуюча головка TONiC з високими характеристиками
У всіх зчитувальних головках TONiC використовується розроблена компанією Renishaw система фільтрації оптичного сигналу останнього покоління, вдосконалена тепер з метою досягнення наднизького рівня шуму. Ефективність цієї новаторської системи посилена ще більш за рахунок динамічної обробки сигналу, яка передбачає автоматичне регулювання посилення (АРУ - AGC) і зміщення (AOC). Вихідні сигнали в цій системі відрізняються винятковою чистотою і забезпечують помилку підрозбиття (SDE) ± 30 нм, рівень шуму (джиттера - тремтіння фронту сигналу) до 0,51 нм (середньоквадратичне значення) і роздільну здатність до 1 нм.
У всіх шкалах TONiC передбачена унікальна оптична нульова мітка IN-TRAC, вбудована безпосередньо в інкрементальний канал, що дозволяє виконувати автоматичну електронну синхронізацію простим натисканням кнопки. Це дає можливість здійснювати цю операцію дистанційним чином. Перевага нульової мітки IN-TRAC полягає також у тому, що вона залишається синхронізованою при будь-яких швидкостях і в межах усього діапазону робочих температур.
Високоточні шкали RELM для роботи у вакуумі
Інварні лінійки RELM забезпечують "нульовий" коефіцієнт теплового розширення і загальну атестовану точність вище ± 1 мкм на довжинах до 1130 мм. Всі ці переваги роблять такі шкали особливо зручними в разі осей великої довжини, де потрібна бездоганна точність.
Зчитувальні головки TONiC UHV виготовляються в особливо чистих умовах, з використанням матеріалів і клеїв з малими показниками газовиділення. Готовий виріб пакується і герметично запечатується в спеціальний мішок з тим, щоб забезпечити належну чистоту.
Результати аналізу складу залишкових газів
Результати незалежного проведення аналізу залишкових газів показали придатність всієї системи в цілому для роботи у вакуумі. Система може також піддаватися знегажуванню при 120 градусах за Цельсієм і використовуватися потім в умовах надвисокого вакууму. Типові приклади застосування цієї системи: подача і переміщення напівпровідникових пластин і їх перевірка, а також проведення наукових досліджень.
Технічні характеристики
| Вбудований світлодіодний індикатор положення головки |
Так |
| Діапазон вимірювання, м: | від 0,07 до 1,12 |
| Довжина оптичної шкали RELM, м: | від 0,08 до 1,13 |
| Роздільна здатність цифрового вихідного сигнала RS422, нм: | 1, 5, 10, 20, 50 , 100, 200, 500, 1000, 5000 |
| Роздільна здатність аналового вихідного сигнала: | — 1 Vpp |
| Крок шкали, мкм: | 20 |
| Максимальна швидкість, м/с: | 10 |
| Зазор між зчитуючою головкою та оптичною шкалою, мм: |
2,1 ± 0,15 |
| Точність системи при 20 °С, мкм/м: | ± 1 |
| Варіант виконання шкали: | — з самоклейкою основою - механічно закріплюється (базова скоба і затискачі) |
| Коефіціент теплового розширення, мкм/м/°С: | ≈ 0,6 (при температурі від 0 °C до + 30 °C) — менше 1,4 (при температурі від + 30 °C до + 100 °C) |
| Напруга живлення, В: | 5 ± 10 % |
| Струм споживання (без навантаженням), мА: | — < 100 (аналогова система) — < 200 (цифрова система) |
| Матеріал оптичної шкали RELM: | високо стабілізований, з низьким розширенням залізо-нікелевий сплав (ZeroMet. - інвар) |
| Кабель: | — плетений мідний кабель, екранований в один шар срібною фольгою, FEP-ізоляція жил, нанесена на луджений (покриту оловом) мідний дріт |
| Довжина кабеля, м: | 0.5, 1, 1.5, 2, 3, 5 (роз´єм типу D (15-контактний), мініроз´єм для з´єднання безпосередньо з Ti-інтерфейсом) |
| Габарити голівки, що зчитує TONiC T1010 (висота × довжина × ширина), мм: | 10,0 × 35,0 × 13,5 |
| Маса, г: | голівки, що зчитує TONiC T1010 - 10 - Ti-інтерфейс - 100 |
| Маса кабеля, г/м: | 14 |
| Референтна (нульова) мітка: | оптична, IN-TRAC, з автоматичною синхронізацією нульового сигналу |
| Кінцеві вимикачі: | – одиночні, магнітні – парні, магнітні |
| Температура, °С: | — робочая — від 0 до + 70 — зберігання — від – 20 до + 70 – спікання – + 120 |
| Ступінь захисту: | зчитуюча головка TONiC — IP40 — Ti–інтерфейс — IP20 |
| Максимальна вологість (без конденсації, при + 40 °C), %: |
95 |
| Робоче прискорення, м/с2: | 500 |
| Удар (в неробочому стані, 6 мс, напівсинусоїдальний імпульс), м/с2: |
1000 |
| Вібрація (в режимі експлуатації, при 55 - 2000 Гц), м/с2: |
не більше 100 |
Дивіться також:
- Оптичний інкрементний лінійний енкодер TONiC UHV з масштабною стрічкою з нержавіючої сталі RSLM
Оптичний інкрементний лінійний датчик TONiC UHV для застосування в умовах надвисокого вакууму
Файли для завантаження:
Опис і технічні характеристики
- Non-contact position encoders guide (EN) (pdf, 10`420 Кб)
