Інтерферометрична система Renishaw ХL-80

Інтерферометрична установка Renishaw XL-80 ідеальне технічне рішення для виконання повного калібрування будь-яких позиційних систем, вимірювання широкого спектра геометричних і динамічних характеристик. Система має гнучку модульну будову, а комплектація визначається відповідно до конкретних метрологічних завдань та умов застосування.

Лазерний блок XL-80 - основа вимірювальної системи. Він заснований на застосуванні гелій-неонової (HeNe) лазерної трубки, що виробляє стабілізований лазерний промінь з довжиною хвилі-633 нм. Характеристики кожного лазера системи XL-80 проходять перевірку на основі еталонів Національної фізичної лабораторії (NPL, Великобританія). Блок компенсації XС-80, що входить до складу системи постійно стежить за станом навколишнього середовища в робочій зоні, отримуючи дані з високоточних датчиків температури, тиску і вологості повітря. У кінцевому підсумку система дозволяє досягти найвищої точності - 0,5 мкм/м у діапазоні робочих температур 0…40 С.

Спеціальне програмне забезпечення «Laser XL» повністю контролює процес підготовки системи та самі вимірювання. Аналіз же результатів тестування здійснюється відповідно до міжнародних стандартів.

ХL-80 дозволяє контролювати параметри:

• точність лінійного позиціонування (діап. 0…80 м, розд.здатн. 0,001 мкм);
• похибки кутових переміщень (осьовий діап. 0…15 м, кутовий діап. (+-) 175 мм/м (+- 10º), розд. здатн. 0,1 мкм/м);
• прямолінійність (осьовий діап. 0,1…30 м, діап. вимірюваної непрямолінійності(+-) 2,5 мм, розд здатн. 0,01/0,1 мкм);
• перпендикулярність (розд. здатн. 0,01 мкм/м);
• площинність (осьовий діап. 0…15 м, діап. вимірюваних відхилень від площинності (+-) 1,5 мм, розд. здатн. 0,01 мкм);
• точність обертового руху;
• відносні зсуви з плином часу;
• зміни швидкості з плином часу;
• зміни прискорення з плином часу.