Оптичний абсолютний лінійний датчик RESOLUTE UHV для застосування в умовах надвисокого вакууму
Файли для завантаження- Виробництво:
- Renishaw (Великобританія)
Енкодер RESOLUTE UHV компанії Renishaw є істинно абсолютним оптичним енкодером, розробленим спеціально для застосування в умовах надвисокого вакууму (до 10 -10 торр).
Енкодер RESOLUTE UHV виготовляється з екологічно чистих і безпечних для застосування в умовах надвисокого вакууму матеріалів і клеїв, тому має низький рівень газовиділення, підтверджений дослідженнями рівень залишкових газів (RGA), і високу температуру спікання (120 ° C).
Енкодер RESOLUTE UHV визначає положення відразу ж після включення, без необхідності будь-якого переміщення або резервного живлення. Це означає, що повний контроль осей може бути досягнутий відразу ж, тим самим усуваючи ризики неконтрольованого руху або зіткнення. Це є важливою перевагою в таких областях застосування, як обробка напівпровідникових пластин, де безпечне вилучення дорогих виробів при раптовому відключенні джерела живлення має важливе значення.
Енкодеру RESOLUTE UHV характерна дуже низька помилка підрозбиття (SDE, ± 40 нм), що покращує якість зворотного зв´язку. Це в свою чергу дає ряд переваг, у тому числі: мінімізацію швидкості пульсації, зниження вібрації, підвищення продуктивності сканування, скорочення кількості тепла, що утворюється в двигунах.
Енкодер RESOLUTE UHV має також низьке значення джиттера (тремтіння фронту сигналу, менше 10 нм), тим самим значно поліпшується стабільність позиціонування.
Енкодер RESOLUTE UHV має окремий вбудований алгоритм перевірки стану, а так само контролю швидкості, стану сигналу і температури, що забезпечує внутрішню безпеку системи.
Енкодерна система RESOLUTE UHV пропонується з низкою роздільної здатності - до 1 нм при максимальній швидкості - аж до 100 м/с.
Для рішень різних задач замовника пропонуються на вибір високоточні шкали для лінійного енкодера RESOLUTE UHV: від високоточної шкали з нержавіючої сталі, що швидко і легко монтується - RTLA (± 5 мкм / м) до інварової шкали - RELA - з дуже низьким коефіцієнтом теплового розширення і сертифікованою точністю вище, ніж ± 1 мкм.
В абсолютному енкодері RESOLUTE UHV використовується тільки канал послідовної передачі даних, що забезпечує найвищий ступінь стійкості до перешкод. Енкодер передбачає виконання з підтримкою цілої низки протоколів, що дозволяє легко підключати його до багатьох стандартних контролерів, приводів, пристроїв цифрової індикації та платам-лічильників (підключається до комп´ютера). Енкодер RESOLUTE UHV з підтримкою протоколу BiSS-C® сумісний з системами низки виробників. Пропонується також енкодер RESOLUTE UHV з підтримкою протоколу Panasonic.
