Интерферометрическая система Renishaw ХL-80

Интерферометрическая установка Renishaw XL-80 является идеальным техническим решением для выполнения полной калибровки любых позиционных систем, измерения широкого спектра геометрических и динамических характеристик. Система имеет гибкое модульное строение, а комплектация определяется в соответствии с конкретными метрологическими задачами и условиями применения.

Лазерный блок XL-80 – основа измерительной системы. Он основан на применении гелий-неоновой (HeNe) лазерной трубки, производящей стабилизированный лазерный луч с длиной волны – 633 нм. Характеристики каждого лазера системы XL-80 проходят поверку на основе эталонов Национальной физической лаборатории (NPL, Великобритания). Входящий в состав системы блок компенсации XС-80 постоянно следит за состоянием окружающей среды в рабочей зоне, получая данные с высокоточных датчиков температуры, давления и влажности воздуха. В конечном итоге система позволяет добиться высочайшей точности – 0,5 мкм/м в диапазоне рабочих температур 0…40 С.

Специальное программное обеспечение «Laser XL» полностью контролирует процесс подготовки системы и сами измерения. Анализ же результатов тестирования осуществляется в соответствии с международными стандартами.

ХL-80 позволяет контролировать параметры:

• точность линейного позиционирования (диап. 0…80 м, разр. 0,001 мкм);
• погрешности угловых перемещений (осевой диап. 0…15 м, угловой диап. (+–) 175 мм/м (+– 10º), разр. 0,1 мкм/м);
• прямолинейность (осевой диап. 0,1…30 м, диап. измеряемой непрямолинейности (+–) 2,5 мм, разреш. 0,01/0,1 мкм);
• перпендикулярность ( разреш. 0,01 мкм/м);
• плоскостность (осевой диап. 0…15 м, диап. измеряемых отклонений от плоскостности (+–) 1,5 мм, разреш. 0,01 мкм);
• точность вращательного движения;
• относительные смещения с течением времени;
• изменения скорости с течением времени;
• изменения ускорения с течением времени.